科研项目 1. 国家自然科学基金青年项目,61306146、用于微流体空化的MEMS聚焦超声波器件、2014/01-2016/12、25万元、已结题、主持。 2. 国家自然科学基金面上项目,61378038,基于可控微电磁场的SERS微流控芯片分析研究,2014/01-2017/12、76万元、在研、参与。 3. 国家自然科学基金青年项目,11105149,新型耐辐照溶胶-凝胶复制闪耀光栅的制作研究,2012/01-2014/12、28万元、已结题、参与 4. 国家自然科学基金青年项目,11005111,用于X射线波段等离子体诊断的新型自支撑透射光栅,2011/1-2013/12、41万元、已结题、参与 5. 国家自然科学基金面上项目,10875128,全息离子束刻蚀同步辐射光栅微结构精密控制技术,2009/01-2011/12、41万元、已结题、参与 论文 1.XiaojunLi*, Hui you, Hai jiang, Ronghui lin, Deyi kong, Rui jiang, Likai zhu, Jun gao,Min tang, Xudi wang, Shaojun fu, Fabrication fo size controllable SU-8nanochannels using nanoimprint lithography and low-pressure thermal bondingmethods,Micro & Nano Letters, 9,2014,p. 105 – 108 2.XiaojunLi, Xudi Wang*, Jian Jin, Qisheng Tang, Yangchao Tian, Shaojun Fu*, Z Cui etal., “Fabrication of micro/nano fluidic system combining hybrid mask-mouldlithography with thermal bonding”, Microelectronic Engineering 87 (2010)722-725; 3.Xiaojun Li,Yong Chen, Keqiang Qiu*, Xudi Wang, Yangchao Tian, Hui You, ShaojunFu, Multiple centimeter-long fluidic-channels with smooth and vertical sidewallfabricated by novel NIL mould and thermal bonding, Microelectronic Engineering,98 (2012) 720–724; 4.Xiaojun Li,Xudi Wang*,Xin Li, Jian Jin, Hui You, Keqiang Qiu, Shaojun Fu,Fabrication of size-controllable nanofluidic channels using angled physicalvapor deposition, Microelectronic Engineering, 98 (2012) 647–650; 5.Xiaojun Li*, Xudi Wang, Jian Jin, Xin Li, Yangchao Tian,Shaojun Fu,Soft substrate as a sacrificiallayer for fabrication free-standing SU-8-based nanofluidic system, Proc. ofSPIE ,Vol. 7657 76570Z-1, 2010; (EI) 6.林荣辉,孙翠敏,尤晖,张瑞,杨明鹏,李小军,基于ZnO压电薄膜的柔性MEMS超声波换能器,压电与声光,2016 Vol.38(6), pp851-854 7.张萍,尤晖,黄哲,林荣辉,李小军,基于微流体环境的超声波基因转导器件的研制,仪表技术,2016(9),pp1-3 8.Hui You, Zhe Huang, Cuimin Sun, Ronghui Lin, Ping Zhang, Xiaojun Li, MingpengYang,Microbubble base MEMS devices,Proceedingsof 5th Annual World Congress of Nano Science & Technology, Sep. 24-262015 inXi’an, China,pp71-77 9.尤晖 张萍 刘自红 林荣辉 李小军 黄哲,超声波细胞导入微流体系统研究,2015年全国微纳尺度流体力学研讨会,上海大学(宝山校区)乐乎新楼,2015年11月13日至15日 10.Xudi Wang, Liangjin Ge, Jingjing Lu, Xiaojun Li, et al., “Fabrication ofenclosed nanofluidic channels by UV cured imprinting and optimized thermalbonding of SU-8 photoresist”, Microelectronic Engineering 87(2009) 1347-1349; 11.Xudi Wang, Jian Jin, Qisheng Tang, Xiaojun Li, “Poly (ethylene terephthalate)(PET) micro/nanostructures fabricated by nanoimprint and its applications”Proc. of SPIE Vol. 7657 765710-1(2010); 12.Xudi Wang, Jian Jin, Xin Li, Xiaojun Li, et al., “Low-pressure thermalbonding”, Microelectronic Engineering, 88 (2011) 2427-2430; 13. Jian jin, Xudi Wang, Xin Li, Xiaojun Li, Si di,Nano/microchannel fabrication based on SU-8 using sacrificial resist etchingmethod,Micro & Nano Letters 7(12):1320-1323 专利 1.李小军,黄一航,张书源,吴晓冬,一种PDMS柔性超疏水薄膜的制作方法,2018.02.27中国,201810161415.5 2.李小军,魏国庆,吴晓冬,黄一航,张书源,一种利用双层胶实现尺寸可控的纳米流体通道的制作方法,2016.09.26,中国,201610852344.4 3.尤晖,林荣辉,张瑞,李小军,一种柔性聚焦MEMS超声波发生器及其制备方法,公开号:104984890A,申请日:2015.6.6 4.尤晖,张萍,林荣辉,张瑞,黄哲,杨明鹏,李小军,王晓飞,用于单细胞超声波基因导入的微流体系统及其导入方法, 201511027684.5,申请日:2015.12.30 5.李小军,尤晖,王旭迪,付绍军,高钧,蒋锐,朱利凯,唐敏,孔德义,集成标尺的SU-8纳米流体通道制作方法,2015.3.18,中国,201210534674.0 6.王旭迪,李小军,汤起升,金建,卢景景,SU-8纳米流体系统的制作方法,2012.11.21,中国,ZL201010143718.8 7.王旭迪,李小军,郑正龙,李鑫,金建,田扬超,付绍军,基于SU-8光刻胶的纳米流体系统自支撑结构的制作方法,2012.11.21,中国,201010295292.8, 8.邱克强,李小军,陈勇,王旭迪,付绍军,纳米流体通道及其制作方法,2014.07.16,中国,ZL201110233453.5 |